網版的製作

 1.印刷方式

    厚膜Ic基板為硬性陶瓷材料,基板本身沒有吸收性能,要

通過特殊油墨而獲得必要的電氣性能,為此,要求具有較厚的墨層

厚度,並根據需要進行調整。因此,絲網印刷為理想的印刷方式。

    2.網版的製作

    (1)製版用原稿。采用陽圖片作為製版原稿。當集成電路確定

後要考慮所要求的參數,如電壓、電流、耗電量以及外形尺4—等因

素來設計電路團。為提高印版圖文精度,用高精密繪圖儀將所設計

的電路原稿放大lo倍左右,再用照相法按尺寸縮小,以此作為陽

因原稿。

    (2)製版。

版法製作網版,

法製版。

一般精度要求的厚膜比印刷,可采用直接感光製

如果精度要求較高,可選用間接製版法或直一製版

線數以印—10線/cm為宜,並合理確定絲網的線徑和開口率。為

提高印刷精度和印刷質量的穩定性,采用金屬網框,繃網力的大小

要嚴格加以控製,一般以100—130N/cm2為宜:

    3.印刷

    厚膜Ic采用平麵絲網印刷機進行印刷;印刷機顴具有足夠剛

度,並設有會準裝置,以保證多次印刷位置的準確性。刮板設有微

調裝置,保證合理的印刷壓力。另外,刮板材料、硬度及刮板角度

也應進行合理選擇與調整。

    利用絲網印刷完成厚膜Ic的導體印刷、電介體印刷、電阻印

刷等,對墨層厚度的均勻性必須有嚴格要求。除了由網版和印刷機

的精度加以保證外,印刷後一般還應自然放置5。7加n,以提高墨

層厚度的一致性。此外,印刷後先用100℃的溫度進行幹燥,持油

墨中的溶劑蒸發後再轉入下道工序。


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